ウェハーのレーザーマーカー

1.シングルマガジンローダー/アンローダーモード:ロード、印字、アンロード

  1. 2. 全自動ローディング及びアンローディング、自動エッジ検索及び位置決め、簡単な操作で高効率
  2. 3. 2インチ、4インチ、6インチウェハーに対応
  3. 5. マガジン自動検索及びオートカウント機能、両サイド印字機能
  4. 6. ウェハーのエッジマーキングに応用可能

 

応用

  1. 1. HDZ-WAF500は2インチ、4インチ、6インチのウェハーエッジマーキングに対応します。
  2. 2. HDZ-WAF600は6インチ、8インチ、12インチのウェハーエッジマーキングに対応します。

装置パラメーター

装置モデル HDZ-WAF500
レーザータイプ ファイバーレーザー

CO2レーザー(オプション)

レーザーパワー(カスタマイズ可) ファイバー20W、CO2 10W
冷却方式 空冷
繰返し位置決め精度 ±0.2mm
ワークサイズ 2 inch, 4 inch, 6 inch wafer
電源 220V, 50Hz
外観寸法(参考値) 900mm*1150mm*1700mm

 

サンプル