ウェハーのレーザー切断装置

1.波長355nmのUVレーザーを使用し、安定した動作を実現。

2.高精度X-Y-Z-θワークテーブルを搭載し、優れた加速と減速動作で、加工効率を改善。

3.バキューム吸着でウェハーをしっかり固定し、加工途中での位置ずれは発生しない

4.ウェハーのマークで位置決めを行うことで、高精度な加工を保証

5.自動ローダー/アンローダー、ロボット搬送、自動エッジ検索機能(WUVC200のみ)

 

装置パラメーター

装置モデル HDZ-WUVC100 HDZ-WUVC200
レーザーパワー 15W 15W
レーザー波長 355nm 355nm
XY軸繰返し位置決め精度 ±1µm ±1µm
Θ軸繰返し位置決め精度 ±15s ±15s
切断ライン幅 >15µm >15µm
切断深さ >25µm >25µm
切断速度

*切断速度は製品によって異なる

100mm/s 100mm/s
ローダー・アンローダー マニュアル ロボット搬送

自動エッジ検索

ワークサイズ 2 -12インチウェハー 2 -12インチウェハー
電源 AC 220V,50Hz AC 220V,50Hz

サンプル