HDZ-WAF600
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要約情報
この全自動ウエハレーザーマーキング機は、主にウエハ製品に使用される電子産業処理の要件に従って特別に開発されています。高品質のUVレーザー発振器を使用し、ファインフォーカスポイント、非接触マーキング、高品質のビーム、高精度移動、高速マーキング、安定した性能、低消費電力、低ノイズの利点があります。 システムはPCによって制御され、WINDOWSオペレーティングシステムに中国語と英語のインターフェースを備え、自己開発したソフトウェアを採用し、操作が簡単です。 コンパクトサイズに高度自動化された自動エラーアラーム
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マーキング及びCCDシステム:
1、二次元モーションプラットフォームにレーザーマーキングシステムと上下位置カメラシステムを統合しています。
2、二次元モーションプラットフォームにリニアモータを統合しています。
3、上部カメラは、ウェハの特徴点に基づいて位置データ情報を提供し、 下の検査カメラシステムは実際のマーカー位置を測定します。
4、システムは、上述の2つのカメラ測定データに基づいて、マーキング位置オフセットが許容範囲内にあるかどうかを判定します。
仕様:
1 制御システム ガルバノミラー+コントロールカード+WIN7
2 レーザー 波長 355nm
3 パワー 3W
4 Fθ レンズ Box:50*50mm (マーキング効果による)
5 冷却方式 チラー
6 2Dプラットフォーム ストローク 400x300mm(リニアプラットフォーム)
7 繰り返し位置決め精度 ±0.002mm
8 最小ライン幅 0.05mm
9 対応ワーク寸法 6インチ 8インチ 12インチ ウェハー
10 繰り返し加工位置精度 ±0.05mm
11 位置決め精度
12 サポートファイルフォーマット Dxf, plt etc
13 電源 単相 220V
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