1.ハンズの独立した知的財産権を有する355nm紫外線レーザーを装備した切断装置は、安定した性能、良好なスポットを備え、長期の安定した操作に適しています。
2.信頼性が高く高精度のX-Y-Z-θワークベンチと優れた加速および減速性能により、システムの単位時間の生産性を効果的に向上させることができます。
3.真空吸着により、プラットフォームの移動中にウェーハが移動できなくなります。
4.切断精度を確保するために、ウェーハ上のポイントをマークすることによってウェーハを配置します。
5.効率的で柔軟なソ
应用:
2 ''、4 ''、8 ''、12 ''のウェーハ切断プロセスに適しています。
规格：
| マシンタイプ | HDZ-WUVC100 | HDZ-WUVC200 |
| レーザーパワー | 15W | 15W |
| レーザー波長 | 355nm | 355nm |
| XY軸リピート位置決め精度 | ±1µm | ±1µm |
| θ軸リピート位置決め精度 | ±15s | ±15s |
| 切断線幅 | >15µm | >15µm |
| 切削深さ | >25µm | >25µm |
| 切削速度（*製品によって切削速度が異なります*） | 100mm/s | 100mm/s |
| ロードおよびアンロード方法 | 手動 | ロボットのピックアンドプレース、自動エッジ検出 |
| 加工品の種類 | 2'' - 12'' ウエハー | 2'' - 12'' ウエハー |
| 電源 | AC 220V，50Hz | AC 220V，50Hz |
サンプル
